探讨采用绿色塑料封装的功率MOSFET性能
摘要
绿色指令推动半导体厂家在其微电子产品封装中摒弃氧化锑、阻燃剂及卤代化合物之类的环境有害物质,然而人们可能担心,绿色封装中的新化学材料有可能影响半导体器件的性能。为此,我们通过热压应力测试对采用绿色和非绿色环氧模塑料 (EMC) 封装的功率晶体管的性能进行了评测。实验表明,绿色器件的电气和物理性能的确优于非绿色器件。我们的研究结果表明,较之于采用绿色 EMC的器件,采用非绿色EMC封装器件的栅极-源极漏电流 (IGSS) 更高,而漏极-源极导通电阻 (RDS[on]) 也更大。非绿色器件之所以电气性能不稳定,是因为其中的阻燃材料会释放较多的溴化物离子。在潮湿的环境下,这种溴化物离子会形成电解液,导致腐蚀。我们发现非绿色器件中的铜焊球极易受电解液腐蚀,腐蚀先从焊球周围开始,然后逐渐扩展到焊球基底。这些腐蚀性离子使铜焊球下的铝焊盘加速溶解,从而在金属间化合物层和焊盘之间形成隔离间隙,使焊盘脱离金属间化合物层。而且,这个间隙在热压应力作用下逐渐变大,导致RDS[on]阻值随时间加大。相反地,绿色器件不易因腐蚀造成焊点损坏。因此,温度绿色器件即使在高湿度、高热压情况下,其RDS[on] 也更稳定,而漏电流IGSS更小。
引言
欧盟部长理事会已经执行RoHS指令 (在电子电气设备中限制使用某些有毒有害物质指令) 以及WEEE指令 (报废电气电子设备指令)。RoHS指令于2006年7月1日生效,禁止在西欧销售的电子产品中使用6种有害物质 (见表1);WEEE指令则规定所有在欧洲销售电子产品的厂家需为其2005年8月13日之后投放市场的产品建立报废产品的收集和回收体系。
表1RoHS 有害物质限制标准
“绿色计划”则是一个面向客户的环保计划,旨在促进供应商在产品中使用环保材料。这项计划与无铅倡议一样,属于自愿性质,目前还不是法定强制性的。支持“绿色计划”的客户正在推动其供应商提供绿色替代产品,而许多电子行业的供应商正在规划其产品发展蓝图,要求其产品中只使用绿色材料,作为对全球环保承诺的一种示范措施。“绿色计划”是对RoHS 指令精神的强化补充,要求全面消除对环境有害的化合物(见表2)。
表2 完全的绿色标准包括表1规定的所有限制要求,并增加对表2所列物质的限制
飞兆半导体一直致力于减少产品中的非环保物质以保护环境,其绿色封装标准是无铅、无卤代化合物和氧化锑。目前飞兆半导体生产的所有产品均符合RoHS标准,并正在向实现“全绿色”迈进。表3所示为功率MOSFET产品中采用的绿色EMC成分。
表3 非绿色与绿色EMC的成分比较
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